Tapping Machine은 웨이퍼상의 칩을 화상검사한 후 양품만을 선별하여 측정부로 옮긴 후, 임피던스 및 소비전류를 측정하여 재선별하는 고속자동분류설비입니다.
각 단위공정이었던 비전검사와 임피던스, 소비전류 측정을 한 설비 내에서 시행하여 공정비용을 획기적으로 절감하였으며, Wafer Cassette 및 Reel tape을 적용하여 사용편의성을 크게 향상시켜 생산 효율성을 극대화하였습니다.
화상검사공정에서 Crack, Void, Scratch, Missing Wire 등의 강도높은 화상검사를 시행하여 다음 공정에서의 불량률을 최소화하였습니다.
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