QMC SLM Series는 Wafer 상 또는 기판상에 Good / NG Marking , Wafer ID Marking 하는 전자동 양산 설비입니다. 각 소자에 맞는 Laser 적용 및 High Speed Scanner 를 적용하여 정밀하고 높은 생산성을 제공합니다.
Item | SLM-200 | 비고 |
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Marking Side | Top side/Back side | |
Marking Accuracy | ± 50um | |
Beam Size | Up to 30um | |
System Dimension(W x D x H) | 2250mm X 1250mm X 1800mm |